گستره دمای سیستم از دمای محیط تا 1500 درجه سانتیگراد | دمای سنسور از دمای محیط تا 1650 درجه سانتیگراد | آتمسفر های قابل ایجاد خنثی ، هوا و خلا | شرایط خلا < 0.05 میلی بار | یک ورودی برای گاز آزت و یا آرگون | گستره MFC از صفر تا 200 میلی لیتر بر دقیقه | دقت MFC یک میلی لیتر بر دقیقه | نرخ روبش دما قابل تنظیم از 0.01 تا 50 درجه سانتیگراد بر دقیقه | دقت اندازه گیری دما 0.01 درجه سانتیگراد | ثابت زمانی 3 ثانیه | گستره اندازه گیری 150mW± | دقت اندازه گیری 0.1mW